MSD系列溅射电源

MSD系列直流溅射电源采用公司核心直流控制系统结合优秀的电弧加工方案，使产品性能非常稳定，产品可靠性高，电弧损伤小，工艺重复性好。采用中英文显示界面，操作方便。

产品信息

● 机架安装

● 电弧响应快，响应时间<100ns

● 底部储能，<1mJ/kW

● 安装结构紧凑，3U标准机箱

● 中/英文显示界面，操作方便

● 精确控制

● 输出范围宽

● 完善的保护功能

输入	输入电压：3AC380V±10%
输入	功率：20kW、30kW 输入电源频率：50Hz/60Hz
输出	最大限度。输出电压：800V
	最大限度。输出电流：50A、75A
	输出电流纹波：≤3%rms
	输出电压纹波：≤2% rms
技术指标	点火电压：1000V/1200V可选
	转换效率：95%
	灭弧时间：＜100ns
	通讯接口：标准RS485/RS232（PROFIBUS、PROFINET、DeviceNet、EtherCAT可选）
	尺寸(高宽深)mm: 132482560: 176482700
	冷却方式：风冷
注：产品不断创新，性能不断提高。此参数说明仅供参考。