RHH系列射频电源依托成熟的射频发生技术，为客户提供更大功率、更高精度、快速响应的射频电源。具有相位可设置、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺：等离子增强化学气相沉积（PECVD）、等离子刻蚀、等离子清洗、射频离子源、等离子扩散、等离子聚合溅射、反应溅射等。
MSD系列直流溅射电源采用公司核心直流控制系统结合优良的电弧处理方案，使产品性能非常稳定，产品可靠性高，电弧损伤小，工艺重复性好。采用中英文显示界面，操作简便。
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