RHH系列射频电源依托成熟的射频发生技术，为客户提供功率更大、精度更高、响应速度更快的射频电源。具有相位可设定、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造等。
适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。
MSD系列直流溅射电源采用公司核心直流控制系统结合优秀的电弧加工方案，使产品性能非常稳定，产品可靠性高，电弧损伤小，工艺重复性好。采用中英文显示界面，操作方便。
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