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RMA系列匹配器

简短的介绍:

可适配RLS系列射频电源,广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子脱胶等工艺。单独使用时,可与其他厂家的射频电源配合使用。


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特征

● 半砖式和机架安装式
● 采用全数字化控制,操作菜单方便、丰富
● 频率调谐、脉冲与脉冲同步功能
● 具有CEX相位同步功能
● 完善的保护功能

产品信息

技术指标 控制电压:AC220V±10%
发射功率:0.5~5kW
频率:2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
匹配时间:端到端<5S,预置点到匹配点<0.5~3S
驻波:<1.2
阻抗实部:5~200Ω
阻抗虚部:+200~-200j
射频输出电压:4000Vpeak
射频输出电流:25~40Arms
输入接口:N型
输出接口:铜排或L29
注:产品不断创新,性能不断提高。此参数说明仅供参考。

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