RMA系列匹配器
特征
● 全数字化控制，匹配精度高，匹配时间短
● 采用真空电容，可靠性高，使用寿命长
● 结构紧凑、体积小、安装方便
● 超宽匹配范围，可定制适合任何负载
● 具有手动/自动匹配功能
● 具有保持和预置功能
● 具有通讯功能，可独立连接上位机，实时显示负载状态
● 可定制的输出接口
产品信息
| 技术指标 | 控制电压：AC220V±10% |
| 发射功率：0.5~5kW | |
| 频率：2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | |
| 匹配时间：端到端＜5S，预置点到匹配点＜0.5～3S | |
| 驻波：＜1.2 | |
| 阻抗实部：5~200Ω | |
| 阻抗虚部：+200~-200j | |
| 射频输出电压：4000Vpeak | |
| 射频输出电流：25~40Arms | |
| 输入接口：N型 | |
| 输出接口：铜排或L29 | |
| 注：产品不断创新，性能不断提高。此参数说明仅供参考。 | |
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