RHH系列射频电源

简短描述：

RHH系列射频电源依托成熟的射频发生技术，为客户提供更大功率、更高精度、快速响应的射频电源。具有相位可设置、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺：等离子增强化学气相沉积（PECVD）、等离子刻蚀、等离子清洗、射频离子源、等离子扩散、等离子聚合溅射、反应溅射等。

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特征

● 半砖和机架安装样式
● 采用全数字控制，操作菜单方便、丰富。
● 频率调谐、脉冲及脉冲同步功能
● 具备CEX相位同步功能
● 完善的保护功能

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输入	输入电压：AC220V±10% 3ΦAC380V±5%（特殊规格可定制）
输入	输入频率：47~63Hz
输出	输出频率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	调谐范围：±5%
	输出功率：1.5~5kW
	输出功率调节范围：1~100%
	输出阻抗：50Ω+j0
	输出接口：N型
	输出方式：连续、脉冲
	脉冲频率：100Hz～100kHz
	占空比：5~95%
性能指标	功率因数：0.98
	频率稳定度精度：±0.005%
	效率：75%（额定输出时）
	谐波：＜-45dBc
	杂散：＜-50dBc
	外控接口：模拟量、通讯、同步
	通讯方式：标配RS485通讯接口；可选配以太网CAT、工业以太网等。
注：产品不断创新，性能持续提升，此参数描述仅供参考。