RHH系列射频电源

RHH系列射频电源依托成熟的射频发生技术，为客户提供功率更大、精度更高、响应速度更快的射频电源。具有相位可设定、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造等。
适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。