射频电源
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RLS系列射频电源
RLS系列射频电源采用目前稳定可靠的功率放大器和公司核心直流控制系统，使产品具有非常稳定的性能和很高的产品可靠性。采用中英文显示界面，操作方便。主要应用于光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造等。
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RMA系列匹配器
可适配RLS系列射频电源，广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子脱胶等工艺。单独使用时，可与其他厂家的射频电源配合使用。
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RHH系列射频电源
RHH系列射频电源依托成熟的射频发生技术，为客户提供功率更大、精度更高、响应速度更快的射频电源。具有相位可设定、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造等。
适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。