产品
-
RMA 系列匹配器
可适配RLS系列射频电源，广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子脱胶等工艺，单独使用时，也可与其他厂家射频电源配套使用。
-
MSB系列中频溅射电源
RHH系列射频电源依托成熟的射频发生技术，为客户提供更大功率、更高精度、快速响应的射频电源。具有相位可设置、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺：等离子增强化学气相沉积（PECVD）、等离子刻蚀、等离子清洗、射频离子源、等离子扩散、等离子聚合溅射、反应溅射等。
-
MSD系列溅射电源
MSD系列直流溅射电源采用公司核心直流控制系统结合优良的电弧处理方案，使产品性能非常稳定，产品可靠性高，电弧损伤小，工艺重复性好。采用中英文显示界面，操作简便。
-
PDE水冷可编程电源
PDE系列主要应用于半导体、激光器、加速器、高能物理设备、实验室、新能源储能电池测试平台等行业。
-
PDB水冷可编程电源
PDB系列程控电源是一款高精度、高稳定性的水冷直流电源，最大输出功率可达40kW，采用标准机箱设计。产品广泛应用于激光器、磁体加速器、半导体制备、实验室等商业领域。
-
PDA系列风冷程控电源
PDA系列程控电源是一款高精度、高稳定度的风冷直流电源，最大输出功率可达15KW，采用标准机箱设计，产品广泛应用于半导体制备、激光器、磁体加速器、实验室等高要求行业。
-
AS系列可控硅交流电源
AS系列交流电源是英杰电气多年可控硅交流电源经验的结晶，性能优良，稳定性可靠；
广泛应用于钢铁冶金、玻璃纤维、真空镀膜、工业电炉、晶体生长、空分等行业。
-
DD系列IGBT直流电源
DD系列直流电源采用模块化设计，通过多模块并联实现大功率、大电流输出，技术领先的电源。系统可采用N+1冗余设计，大大提高了系统可靠性。产品广泛应用于晶体生长、光纤制备、铜箔铝箔、电解电镀及表面处理等领域。
-
DS系列可控硅直流电源
DS系列直流电源是英杰电气在可控硅直流电源领域多年经验的积累，凭借其优异的性能、可靠的稳定性，广泛应用于电解、电镀、冶金、表面处理、工业电炉、晶体生长、金属防腐、充电等多个领域。
-
TPM5系列电源控制器
TPM5系列功率控制器采用模块化设计思路，内部集成多达6个电路。产品主要应用于扩散炉、PECVD、外延炉等。
-
TPM3系列电源控制器
TPM3系列功率控制器采用模块化设计思路，产品由接口模块和功率模块组成。一个接口模块最多可连接16个功率模块，每个功率模块集成6路加热电路。单台TPM3系列产品最多可实现96路单相负载的加热控制。产品主要应用于半导体外延炉、汽车喷涂、烘干等多温区控制场合。
-
TPA系列高性能功率控制器
TPA系列功率控制器采用高分辨率采样，搭载高性能DPS控制核心，产品精度高，稳定性高。主要应用于工业电炉、机械设备、玻璃工业、晶体生长、汽车工业、化工工业等行业。