MSB系列中频溅射电源

MSB系列依靠其优秀的波形调制技术，可输出直流、直流脉冲、双向方波、双向梯形波等波形。该产品具有输出波形可调、输出频率可选、占空比可调、功率控制精确等特点。以及低能量存储和快速电弧响应。为涂装过程提供方便、精确的控制。产品主要应用于各种薄膜制造工艺、太阳能电池行业、真空镀膜行业；应用工艺：磁控溅射工艺、双靶溅射工艺、管式PECVD工艺。