MSB系列中频溅射电源
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MSB系列中频溅射电源
RHH系列射频电源依托成熟的射频发生技术，为客户提供更大功率、更高精度、快速响应的射频电源。具有相位可设置、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏行业、平板显示行业、半导体行业、化工行业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺：等离子增强化学气相沉积（PECVD）、等离子刻蚀、等离子清洗、射频离子源、等离子扩散、等离子聚合溅射、反应溅射等。
股票代码300820.SZ
电话: +86 19181068903