微波电源

简短的介绍：

微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源。集阳极高压电源、灯丝电源、磁场电源于一体（3kW微波电源除外）。波磁控管提供了工作条件。该产品应用于MPCVD、微波等离子刻蚀、微波等离子脱胶等领域。

产品信息

产品标签

发送电子邮件给我们

特征

● 高频逆变技术，功率密度高，体积小，可靠性高
● 响应快、控制精确、稳定性好
● 产品具有恒压、恒功率、恒流控制模式
● 所有外部连接器均采用快插端子和航空插头，安装维护方便
● 灯丝电源配置灵活，可内置或外置
● 快速点火检测和保护
● 丰富、快速的检测和保护功能
● RS485标准通讯接口
● 采用标准机箱（3U：3kW、6kW、6U：10kW、15kW、25kW），安装方便

产品信息

	1kW微波电源	3kW微波电源	5kW微波电源	10kW微波电源	15kW微波电源	30kW微波电源	75kW微波电源	100kW微波电源
阳极额定电压、电流	4.75kV370mA	5.5kV1000mA	7.2kV1300mA		10kV1600mA	12.5kV1800mA	13kV3000mA	18kV4500mA
灯丝额定电压、电流	DC3.5V10A	DC6V25A（内置）	DC12V40A(外置)		DC15V50A(外置)	DC15V50A(外置)	AC15V110A(外置)	AC15V120A
额定磁场电压、电流	-	-	直流20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
注：产品不断创新，性能不断提高。此参数说明仅供参考。