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微波电源

简短的介绍:

微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源。集阳极高压电源、灯丝电源、磁场电源于一体(3kW微波电源除外)。波磁控管提供了工作条件。该产品应用于MPCVD、微波等离子刻蚀、微波等离子脱胶等领域。


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特征

● 高频逆变技术,功率密度高,体积小,可靠性高

● 响应快、控制精确、稳定性好

● 产品具有恒压、恒功率、恒流控制模式

● 所有外部连接器均采用快插端子和航空插头,安装维护方便

● 灯丝电源配置灵活,可内置或外置

● 快速点火检测和保护

● 丰富、快速的检测和保护功能

● RS485标准通讯接口

● 采用标准机箱(3U:3kW、6kW、6U:10kW、15kW、25kW),安装方便

产品信息

 

1kW微波电源

3kW微波电源

5kW微波电源

10kW微波电源

15kW微波电源

30kW微波电源

75kW微波电源

100kW微波电源

阳极额定电压、电流

4.75kV370mA

5.5kV1000mA

7.2kV1300mA

 

10kV1600mA

12.5kV1800mA

13kV3000mA

18kV4500mA

灯丝额定电压、电流

DC3.5V10A

DC6V25A(内置)

DC12V40A(外置)

 

DC15V50A(外置)

DC15V50A(外置)

AC15V110A(外置)

AC15V120A

额定磁场电压、电流

-

-

直流20V5A

DC100V5A

DC100V5A

DC100V5A

DC100V5A

DC100V10A

注:产品不断创新,性能不断提高。此参数说明仅供参考。

 

 

 



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