微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源。集阳极高压电源、灯丝电源、磁场电源于一体（3kW微波电源除外）。为波磁控管提供工作条件。该产品应用于MPCVD、微波等离子刻蚀、微波等离子脱胶等领域。
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